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自主研發(fā)微流量氣體流量計MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

蘇州氮氣質(zhì)量流量控制器MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

數(shù)顯流量控制器MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。 被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

浙江熱式氣體質(zhì)量流量計廠家MFC300 產(chǎn)品采用單電源供電(15~40VDC)；可模擬 量和數(shù)字通訊（CAN、RS485、RS232）顯示和控制氣體流 量，可以直接跟本公司的 MFC 控制器配合使用，也可以 直接連電腦通訊，并通過數(shù)字通訊改變控制流量或通訊 設(shè)置；也可以連二次儀表顯示；具有多氣體測量，高精 度，高穩(wěn)定性，極低零漂特性。

微流量氣體質(zhì)量流量控制器廠家采用氣體流過外熱源加熱的毛細管時產(chǎn)生的溫度場變化 來測量氣體質(zhì)量流量，通過電橋?qū)囟葓龅淖兓D(zhuǎn)化為電信號并經(jīng)過電 路放大、濾波處理，處理后的信號采集進處理器芯片，再通過氣體流量 外標法和溫壓補償?shù)玫綔蚀_的真實氣體流量值。氣體實際流量值與流量 設(shè)定值進行比較, 將差值通過智能算法去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過 通道的流量使之與流量設(shè)定值相等，實現(xiàn)氣體流量的精準控制。

上海熱式氣體質(zhì)量流量計MFM毛細管熱質(zhì)量流量計,直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。