微小流量氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品簡介：

微小流量氣體質(zhì)量流量控制器MFM毛細管熱質(zhì)量流量計,直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。

產(chǎn)品型號：MFM330

更新時間：2025-05-14

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

流量計

氣密性測漏儀皂膜氣體流量標準裝置流量顯示儀氣體質(zhì)量流量計氣體質(zhì)量流量控制器流量控制器

質(zhì)量流量控制器技術原理與應用解析

產(chǎn)品介紹

微小流量氣體質(zhì)量流量控制器MFM毛細管熱質(zhì)量流量計,直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。

微小流量氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品特點

精準質(zhì)量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

低壓損可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟有效的解決方案

主要參數(shù)

介質(zhì)要求潔凈干燥氣體

氣體種類 98+氣體可選

量程 10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測量范圍 0.5%-100% F.S.

準確度 ±0.5% F.S.

重復精度 ±0.2%F.S.

線性度 ±0.2%F.S.

分辨率 0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）

傳感器響應時間 <1s

預熱時間 5 min（T95），30 分鐘最佳

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微小流量氣體質(zhì)量流量控制器MFM毛細管熱質(zhì)量流量計,直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。

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