MFC330系列是熱式氣體質(zhì)量流量控制器。由質(zhì)量流量傳感器、分流結(jié)構(gòu)、高精度比例閥和運(yùn)放電路等部件組成。

產(chǎn)品型號：MFC330

更新時(shí)間：2025-02-08

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氣密性測漏儀皂膜氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置流量顯示儀氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器流量控制器

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產(chǎn)品介紹

MFC330系列是熱式氣體質(zhì)量流量控制器。由質(zhì)量流量傳感器、分流結(jié)構(gòu)、高精度比例閥和運(yùn)放電路等部件組成。

流量傳感器采用氣體流過外熱源加熱的毛細(xì)管時(shí)產(chǎn)生的溫度場變化來測量氣體質(zhì)量流量，通過電橋?qū)囟葓龅淖兓D(zhuǎn)化為電信號并經(jīng)過電路放大、濾波處理，處理后的信號采集進(jìn)處理器芯片，再通過氣體流量外標(biāo)法和溫壓補(bǔ)償?shù)玫綔?zhǔn)確的真實(shí)氣體流量值。

氣體實(shí)際流量值與流量設(shè)定值進(jìn)行比較, 將差值通過智能算法去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與流量設(shè)定值相等，實(shí)現(xiàn)氣體流量的精準(zhǔn)控制.

熱式氣體質(zhì)量流量控制器