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愛拓利精準流量測控

專注于微小氣體流量測量與控制

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產(chǎn)品中心

PRODUCTS CENTER

當前位置:首頁產(chǎn)品中心流量計MFM330MFM氣體流量計

MFM氣體流量計
產(chǎn)品簡介:

MFM氣體流量計由電路板,傳感器進出氣管接頭,分流器通道機殼,只對氣體質(zhì)量流量進行測量。

產(chǎn)品型號:MFM330

更新時間:2025-06-12

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪 問 量 :287

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產(chǎn)品介紹

MFM氣體流量計

  MFM氣體流量計產(chǎn)品特性

   ◆無可移動部件

   ◆支持多種通訊協(xié)議
   ◆容易安裝及維護
   ◆高精度、高穩(wěn)定性、非常低的零漂
   ◆可測多種氣體
   ◆一體液晶顯示和按鍵操作
   ◆內(nèi)置溫度和壓力傳感器
   ◆同時顯示氣體瞬時流量和累積流量

      應用領域:


 MFM氣體流量計技術(shù)參數(shù):


   ——分析儀器

——干刻(RIE/DRIE)

流量規(guī)格:

0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM

0~1、2、5、10、20、30、50SLPM

  ——生物技術(shù)


——氣相色譜分析

   ——激光焊機


——過程自動化

準確度:

±0.5%F.S.

  ——真空鍍膜


——燃料電池
重復精度:

±0.2%F.S.

 

  產(chǎn)品尺寸:


 

 

MFM氣體流量計

使用溫度:

-20~65℃
使用濕度:

0~98%(?凝露)

Max耐壓:

3MPa
響應時間: <1s
供電電壓:

15~40VDC

功率:

<1.2W

通訊方式: RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA
氣路部件材質(zhì): SUS304、SUS316L

密封件材質(zhì):

氟橡膠

氣路接頭:

快擰、快插、卡套、VCR


 外接顯示器尺寸:


MFM氣體流量計


  電氣連接:DB9



  產(chǎn)品造型:


 

 

 

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