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氣體質(zhì)量流量控制器工作原理是基于質(zhì)量守恒定律和伯努利原理。當(dāng)氣體經(jīng)過流量控制器時(shí),它會(huì)通過一系列精確的流量計(jì)算器來測量氣體的流量。這些計(jì)算器可以使用不同的技術(shù)進(jìn)行測量,如熱式、質(zhì)量流量計(jì)或壓差式。在測量完氣體流量后,流量控制器會(huì)根據(jù)要求的流量和實(shí)際流量之間的差異來調(diào)整閥門或其他控制裝置的動(dòng)作。這種調(diào)整可以通過反饋控制回路來實(shí)現(xiàn),以確保實(shí)際流量與所需流量之間的誤差最小化。
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