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熱式氣體流量計 MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。 被測氣體進(jìn)入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

氣密性測漏儀支持多種通訊協(xié)議，氣體種類覆蓋面廣、控制及測量精度高 、響應(yīng)速度快、性能穩(wěn)定 。

皂膜氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置可根據(jù)不同的測量量程選擇適合的測量通道，大大提高氣體流量的測量范圍及測量精度，測量通道切換簡便。

多路流量顯示儀支持多種通訊協(xié)議，氣體種類覆蓋面廣、控制及測量精度高 、響應(yīng)速度快、性能穩(wěn)定 。

流量顯示儀，支持多種通訊協(xié)議，氣體種類覆蓋面廣、控制及測量精度高 、響應(yīng)速度快、性能穩(wěn)定 。

MFM330 氣體質(zhì)量流量計結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。